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高純六氟化硫 高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,被大量應用于微電子技術領域。隨著當今科技的發(fā)展,SF6涉及的領域不斷擴展,被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用。

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高純六氟化硫

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